ส่วนประกอบสุญญากาศเป็นหน่วยการทำงานพื้นฐานที่ประกอบขึ้นเป็นระบบสุญญากาศ พวกเขามีหน้าที่รับผิดชอบในการบรรลุและรักษาสภาพแวดล้อมที่มีความดันต่ำเฉพาะในพื้นที่ปิดและสนับสนุนกระบวนการที่เกี่ยวข้อง ค่านิยมหลักอยู่ที่การสร้างและควบคุมสภาวะทางกายภาพพิเศษที่แตกต่างจากความกดดันปกติ
โดยทั่วไปอุปกรณ์ดังกล่าวจำเป็นต้องรับมือกับข้อกำหนดที่เข้มงวดของสภาพแวดล้อมที่มีความหนาแน่นของก๊าซต่ำมาก กระบวนการออกแบบและการผลิตจำเป็นต้องมีการประมวลผลกระบวนการพิเศษเพื่อลดการปล่อยก๊าซของวัสดุให้เหลือน้อยที่สุด และรับประกันความสมบูรณ์ของโครงสร้างและความน่าเชื่อถือของการปิดผนึกในระดับจุลภาค ฟังก์ชันต่างๆ ได้แก่ การสกัดก๊าซ การควบคุมการไหล การแยกและการแยก การรับรู้สถานะความดัน และการนำพลังงานหรือสารเฉพาะในทิศทางในสุญญากาศ
การทำงานร่วมกันระหว่างทั้งสองช่วยให้ระบบสามารถบรรลุและรักษาระดับสภาพการทำงานที่แตกต่างกันได้อย่างเสถียรตั้งแต่สุญญากาศหยาบไปจนถึงสุญญากาศสูงพิเศษ โดยให้การสนับสนุนที่จำเป็นสำหรับการทำงานในภายหลังในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ ประสิทธิภาพจะกำหนดความบริสุทธิ์ ความเสถียร และความสามารถในการควบคุมสภาวะภายในของห้องสุญญากาศได้โดยตรง ซึ่งจะส่งผลต่อความแม่นยำและความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการทางกายภาพหรือทางเคมีต่างๆ ที่ขึ้นอยู่กับสภาพแวดล้อมนี้
การเลือกและการกำหนดค่าส่วนประกอบสูญญากาศเป็นข้อพิจารณาพื้นฐานสำหรับการสร้างโซลูชันสูญญากาศที่มีประสิทธิภาพและเชื่อถือได้ และมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในสาขาการวิจัยทางอุตสาหกรรมและวิทยาศาสตร์ที่มีการควบคุมสภาพแวดล้อมของก๊าซอย่างเข้มงวด